Ricerca e sviluppo di sensori innovativi a base di strain gauge di Solfuro di Samario

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Acronimo

SAMARIO

Tipologia Ambito fonte

Ministeriale

Fonte di finanziamento/Programma

APQ Ricerca Scientifica MUR-MEF-Reg. Puglia 2005

Misura

Linea 1 - Prog. di Sperimentazione & Ricerca

Call / Bando / Intervento specifico

Bando Progetti Strategici

Capofila/Coordinatore

Università Del Salento

Dipartimento/Istituto

Dipartimento Di Ingegneria Dell'innovazione

Soggetti Partner Pugliesi

Soggetti Partner Non Pugliesi

  • GEFRAN SENSORI

Referente Scientifico

Vasanelli Lorenzo

Costo Totale del Progetto

Contributo Totale del Progetto

Data di inizio

2009

Data di fine

2014

Keywords

Abstract

Il presente progetto si riferisce alla ricerca e sviluppo di una tecnologia innovativa per la realizzazione di estensimetri a film sottile di solfuro di samario, un materiale semiconduttore con alto gauge factor ed alto range di temperatura operativa.Il progetto comprende lo studio approfondito e lo sviluppo di tecniche di deposizione ad alta affidabilità e riproducibilità. La tecnica principale che verrà utilizzata è la deposizione tramite sputtering RF, che richiede sia dei target innovativi che lo sviluppo di attrezzature ad hoc. Inoltre, sarà migliorata anche la tecnica di evaporazione “flash” per poter ottenere film sottili di SmSx con caratteristiche di alta uniformità e di ripetibilità. Il progetto prevede lo sviluppo di quattro sensori, rappresentativi dei risultati della ricerca da sviluppare: • quattro estensimetri a film sottile di SmSx di tipo unidirezionale con compensazione termica passiva, • sensori di pressione di tipo industriale con estensimetri a film sottile di SmSx, • nuove tipologie di sensori aerodinamici per la misura di flusso, pressione, temperatura e velocità, • celle di carico ad alta risoluzione con estensimetri a film sottile di SmSx. Gli aspetti innovativi di questo progetto sono: • una tecnologia di preparazione innovativa di sensori a film sottile basata su un nuovo materiale semiconduttore, il solfuro di samario, • i quattro nuovi sensori sopra menzionati dalle eccezionali prestazioni.

Ambito tecnologico produttivo

Ambito di Applicazione/Mercato

Meccanica E Meccatronica