Il presente progetto si riferisce alla ricerca e sviluppo di una tecnologia innovativa per la realizzazione di estensimetri a film sottile di solfuro di samario, un materiale semiconduttore con alto gauge factor ed alto range di temperatura operativa.Il progetto comprende lo studio approfondito e lo sviluppo di tecniche di deposizione ad alta affidabilità e riproducibilità. La tecnica principale che verrà utilizzata è la deposizione tramite sputtering RF, che richiede sia dei target innovativi che lo sviluppo di attrezzature ad hoc. Inoltre, sarà migliorata anche la tecnica di evaporazione “flash” per poter ottenere film sottili di SmSx con caratteristiche di alta uniformità e di ripetibilità. Il progetto prevede lo sviluppo di quattro sensori, rappresentativi dei risultati della ricerca da sviluppare: • quattro estensimetri a film sottile di SmSx di tipo unidirezionale con compensazione termica passiva, • sensori di pressione di tipo industriale con estensimetri a film sottile di SmSx, • nuove tipologie di sensori aerodinamici per la misura di flusso, pressione, temperatura e velocità, • celle di carico ad alta risoluzione con estensimetri a film sottile di SmSx. Gli aspetti innovativi di questo progetto sono: • una tecnologia di preparazione innovativa di sensori a film sottile basata su un nuovo materiale semiconduttore, il solfuro di samario, • i quattro nuovi sensori sopra menzionati dalle eccezionali prestazioni.