Abstract

Glass micromachining is a basic technology to achieve microfluidic networks for lab-on-a-chip applications. Among several methods to microstructure glass, the simplest and most widely applied is wet chemical etching (WE). However, accurate control of the reaction conditions to perform reproducible, fast and safe glass etching is not straightforward. Herein, microwave-assisted WE is demonstrated to intensify the glass etching action under safe working and finely monitored operative conditions and to produce smooth deep channels in short processing times with reduced underetching effects.

Autore Pugliese

• Carbone Luigi , Arima Valentina

Tutti gli autori

• Zacheo A.; Zacheo A.; Zizzari A.; Zizzari A.; Perrone E.; Carbone L.; Giancane G.; Valli L.; Rinaldi R.; Rinaldi R.; Arima V.

Titolo volume/Rivista

Lab on a chip

Anno di pubblicazione

2015

ISSN

1473-0197

ISBN

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