Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process

Abstract

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Tutti gli autori

  • M.A. Signore; E. Bellini; A. Taurino; M. Catalano; M.C. Martucci; P. Cretì; L. Vasanelli; P. Siciliano; F. Quaranta

Titolo volume/Rivista

Journal of physics and chemistry of solids


Anno di pubblicazione

2013

ISSN

0022-3697

ISBN

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