Abstract

RF Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) have been developed during the last decade withseveral applications for commercial as well as space and military sub-systems [1-6]. Technologicalprocesses encompassing the utilization of typical microelectronic substrates like alumina, GaAs andSilicon have been considered for the realization of micro-switches by surface micromachining. Truetime delay lines (TTDL), single port multiple throw (SPMT), matrices and phase shifters takebenefit from the low insertion loss, all passive and distortion-free environment offered by RFMEMS. Antenna re-configuration through digital phase shifters based on RF MEMS switches arecurrently studied.

Autore Pugliese

• Persano Anna , Quaranta Fabio

Tutti gli autori

• R. Marcelli; E. Proietti; A. Lucibello; E. De Angelis; G. Bartolucci; F. Quaranta; C. Martucci; A. Persano; G. Mannocchi; S. Di Nardo; D. Pochesci; B. Margesin; F. Giacomozzi; F. Casini; P. Farinelli

Titolo volume/Rivista

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2010

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