Abstract

We report about the realization of a negative-tone photoresist for two-photon lithography containing superparamagnetic iron-oxide nanoparticles at 0.1 wt.% concentration. The material was characterized in terms of optical transparence in the visible spectral range and the microfabrication process engineered in order to minimize particles agglomeration. The versatility of two-photon direct laser writing allowed us to fabricate three-dimensional structures with sub-micrometer resolution, letting us envision possible applications of this nanocomposite blend for the realization of complex magnetically actuated MEMS.

Autore Pugliese

• Quarta Alessandra

Tutti gli autori

• Guerrieri S.; Qualtieri A.; Quarta A.; Nitti S.; Sileo L.; Malvindi M.A.; Petroni S.; Pellegrino T.; De Vittorio M.; Pisanello F.

Titolo volume/Rivista

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Anno di pubblicazione

2014

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