Abstract

Energy harvesting at low frequency is a challenge for microelectromechanical systems. In this workwe present a piezoelectric vibration energy harvester based on freestanding molybdenum Mo andaluminum nitride AlN ring-microelectromechanical-system RMEMS resonators. Thefreestanding ring layout has high energy efficiency due to the additional torsional modes which areabsent in planar cantilevers systems. The realized RMEMS prototypes show very low resonancefrequencies without adding proof masses, providing the record high power density of30.20 W mm-3 at 64 Hz with an acceleration of 2g. The power density refers to the volume of thevibrating RMEMS layout.

Autore Pugliese

• Passaseo Adriana Grazia

Tutti gli autori

• Massaro A.; De Guido S.; Ingrosso I.; Cingolani R.; De Vittorio M.; Cori M.; Bertacchini A.; Larcher L.; Passaseo A.

Titolo volume/Rivista

Applied physics letters

Anno di pubblicazione

2011

ISSN

0003-6951

ISBN

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