Flexible piezoelectric cantilevers fabricated on polyimide substrate

Abstract

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Tutti gli autori

  • S. Petroni;G. Maruccio;F. Guido;M. Amato;A. Campa;A. Passaseo;M. Todaro;M. De Vittorio

Titolo volume/Rivista

Microelectronic engineering


Anno di pubblicazione

2012

ISSN

0167-9317

ISBN

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