Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics

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Abstract

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Autore Pugliese

Tutti gli autori

  • A. Forleo; L. Francioso; S. Capone; F. Casino; P. Sicilian; H. Huang; O.K. Tan

Titolo volume/Rivista

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Anno di pubblicazione

2010

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