Deposition and etching of fluorocarbon thin films in atmospheric pressure DBDs fed with Ar-CF4-H2 and Ar-CF4-O2 mixtures

Torna indietro

Abstract

Non Disponibile

Autore Pugliese

Tutti gli autori

  • F. Fanelli ; F. Fracassi; R. d'Agostino

Titolo volume/Rivista

Surface & coatings technology

Anno di pubblicazione

2010

ISSN

0257-8972

ISBN

Non Disponibile

Numero di citazioni Wos

Nessuna citazione

Ultimo Aggiornamento Citazioni

Non Disponibile

Numero di citazioni Scopus

Non Disponibile

Ultimo Aggiornamento Citazioni

Non Disponibile

Settori ERC

Non Disponibile

Codici ASJC

Non Disponibile