Abstract

This paper presents a new AlN-based MEMS devices suitable for vibrational energy harvesting applications. Due to their particular shape and unlike traditional cantilever which efficiently harvest energy only if subjected to stimulus in the proper direction, the proposed devices have 3D generation capabilities solving the problem of device orientation and placement in real applications. Thanks to their particular shape, the realized devices present more than one fundamental resonance frequencies in a range comprised between 500 Hz and 1.5 kHz, with a voltage generation higher than 300?V and an output power up to 0.4 pW for single MEMS device.

Autore Pugliese

• Passaseo Adriana Grazia , Todaro Maria Teresa

Tutti gli autori

• A. Bertacchini; S. Scorcioni; D. Dondi; L. Larcher; P. Pavan; M.T. Todaro; A. Campa; G. Caretto; S. Petroni; A. Passaseo; M. De Vittorio

Titolo volume/Rivista

Proceedings of the European Solid State Device Research Conference

Anno di pubblicazione

2011

ISSN

1930-8876

ISBN

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