Radio-frequency capacitively coupled plasmas in hydrogen excited by tailored voltage waveforms: comparison of simulations with experiments

Torna indietro

Abstract

Non Disponibile

Autore Pugliese

Tutti gli autori

  • LONGO S.

Titolo volume/Rivista

Non Disponibile

Anno di pubblicazione

2014

ISSN

0963-0252

ISBN

Non Disponibile

Numero di citazioni Wos

Nessuna citazione

Ultimo Aggiornamento Citazioni

Non Disponibile

Numero di citazioni Scopus

Non Disponibile

Ultimo Aggiornamento Citazioni

Non Disponibile

Settori ERC

Non Disponibile

Codici ASJC

Non Disponibile