GC-MS Investigation of Organosilicon and Fluorocarbon Fed Plasmas

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Abstract

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Autore Pugliese

Tutti gli autori

  • FRACASSI F.

Titolo volume/Rivista

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Anno di pubblicazione

2011

ISSN

0863-1042

ISBN

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Numero di citazioni Wos

6

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Settori ERC

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Codici ASJC

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