metodo per realizzare un dispositivo microelettromeccanico a membrana metallica sospesa

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Abstract

La presente invenzione è relativa a un metodo per realizzare un dispositivo microelettromeccanico a membrana metallica sospesa. In particolare, la presente invenzione trova vantaggiosa, ma non esclusiva applicazione, nella realizzazione di circuiti microelettronici funzionanti ad alta frequenza (da 0.1 a 40 GHz), per esempio circuiti monolitici per microonde (“Monolithic Microwave Integrated Circuit”) (MMIC) comprendenti uno o più dispositivi di commutazione a radiofrequenza di tipo microelettromeccanico (“Micro Electro-Mechanical”) (MEMS) a membrana metallica

Classe Tecnologica

B - Performing operations, transporting

Patent Office

Ufficio Italiano Brevetti e Marchi

Numero Deposito

ITABO2010A000738

Anno Deposito

2010

Anno Concessione

2013

Inventori Pugliesi

  • Caliandro Pierangela
  • Rizzi Leonardo

Tutti gli inventori

  • Giuseppe Agnusdei
  • Pierangela Caliandro
  • Luca Ferrari
  • Lucia Iacobelli
  • Giovanni Melone
  • Dario Monnati
  • Maria Debora Panettella
  • Antonio Rago
  • Leonardo Rizzi
  • Vincenzo Schirosi

Titolari pugliesi

Tutti i titolari

  • Consorzio OPTEL-InP